岗位职责
1.负责新型MEMS器件加工、新产品工艺优化与开发;
2.负责MEMS 磁传感器生产流程中的薄膜工艺环节,协助建立生产线;
3.负责全面了解制程设备,制定工艺文件,确保符合项目要求;
4.负责解决生产线上的问题、解决工艺问题;
5.负责培训工艺人员和生产作业人员、对MEMS器件的加工工艺问题进行追踪、监控、分析和优化;
6.负责化学气体,靶材等主辅材料的评价和选择。
任职资格
1、电子技术、集成电路,微电子、机械、半导体材料等相关专业;
2、熟悉MEMS芯片或器件的薄膜加工工艺,工艺流程实践经验;具有MEMS 三维立体结构薄膜经验者尤佳;
3、具备良好的技术文献读写能力,良好的中、英文读写能力,责任心、敬业精神和团结合作精神;
4、熟悉AMAT Endura5500 (AlCu/TTN/TiW),5200 DxZ ,Veeco PVD , Novellus C2 Sequel (PEOX等。